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申请/专利权人：世界先进积体电路股份有限公司
摘要：本发明实施例提供一种电容式生物感测器。电容式生物感测器包括：晶体管、设置于晶体管上的内连线结构以及设置于内连线结构上的钝化层。内连线结构包括晶体管上的第一金属结构、第一金属结构上的第二金属结构以及第二金属结构上的第三金属结构。第三金属结构包括依序堆迭的第一导电层、第二导电层与第三导电层。钝化层具有开口，其露出部分的第三金属结构。电容式生物感测器更包括设置于内连线结构上的感测区。感测区包括第一感测电极与第二感测电极，第一感测电极由第三导电层形成，且第二感测电极设置于钝化层上。
主权项：1.一种电容式生物感测器，其特征在于，包括：一晶体管；一内连线结构，设置于该晶体管上，该内连线结构包括：一第一金属结构，设置于该晶体管上；一第二金属结构，设置于该第一金属结构上；以及一第三金属结构，设置于该第二金属结构上，其中该第三金属结构包括一第一导电层、一第二导电层与一第三导电层依序堆迭，其中该第一导电层与该第三导电层分别包括一第一导电涂层以及位于该第一导电涂层上的一第二导电涂层；一钝化层，设置于该内连线结构上，其中该钝化层具有一开口，该开口露出部分的该第三金属结构；一侧壁间隔物，设置于该开口的侧壁上；以及一感测区，设置于该内连线结构上，该感测区包括：一第一感测电极，由该第三导电层形成；以及一第二感测电极，设置于该钝化层上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 世界先进积体电路股份有限公司 电容式生物感测器
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