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申请/专利权人:甬矽半导体(宁波)有限公司
摘要:本发明提供了一种重新分布互连转接封装结构及其制备方法,涉及芯片封装技术领域,该重新分布互连转接封装结构包括衬底、导电层、第一芯片、封装介质层、堆叠布线组合层和基底布线组合层,衬底中设置有第一导电柱;导电层设置在第二表面;第一芯片设置在衬底的中部;封装介质层设置在第二表面,封装介质层中设置有第二导电柱,堆叠布线组合层设置在封装介质层远离衬底的一侧;基底布线组合层设置在第一表面。相较于现有技术,本发明实施例提供的重新分布互连转接封装结构及其制备方法,能够提升整体结构强度和内部结合力,并解决结构内部应力问题,减缓应力导致翘曲现象。
主权项:1.一种重新分布互连转接封装结构,其特征在于,包括:衬底,所述衬底具有第一表面和第二表面,所述衬底中设置有第一导电柱,所述第一导电柱的一端外露于第一表面,另一端穿出所述第二表面,并相对所述第二表面凸起设置;导电层,所述导电层设置在所述第二表面,并覆盖所述第一导电柱;第一芯片,所述第一芯片设置在所述衬底的中部;封装介质层,所述封装介质层设置在所述第二表面,并包覆于所述导电层和所述第一芯片,所述封装介质层中设置有第二导电柱,所述第二导电柱的一端与所述导电层连接,另一端外露于所述封装介质层远离所述衬底的一侧表面,所述第一导电柱穿过所述封装介质层,并外露于所述封装介质层远离所述衬底的一侧表面;堆叠布线组合层,所述堆叠布线组合层设置在所述封装介质层远离所述衬底的一侧,并与所述第一导电柱连接;基底布线组合层,所述基底布线组合层设置在所述第一表面,并与所述第一导电柱连接;其中,所述第一芯片与所述堆叠布线组合层或所述基底布线组合层连接。
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