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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种检漏工装以及检漏装置。所述检漏工装包括：检漏端，包括第一检漏接口及第二检漏接口，其中，所述第一检漏接口具有适配磁流体的第一密封面的第一口径，用于覆盖所述第一密封面，所述第二检漏接口设于所述第一检漏接口之后，并具有适配加热盘冷却支座的第二密封面的第二口径，用于包围穿过所述第一检漏接口的所述第二密封面，其中，所述第一口径大于所述第二口径；以及工装本体，其第一端连接所述检漏端，而其第二端经由法兰接口连接检漏仪，用于在所述检漏仪提供的负压下，经由所述检漏端密封所述磁流体或所述冷却支座的密封面，并向所述密封面提供负压，以对其进行检漏。
主权项：1.一种检漏工装，其特征在于，包括：检漏端，包括第一检漏接口及第二检漏接口，其中，所述第一检漏接口具有适配磁流体的第一密封面的第一口径，用于覆盖所述第一密封面，所述第二检漏接口设于所述第一检漏接口之后，并具有适配加热盘冷却支座的第二密封面的第二口径，用于包围穿过所述第一检漏接口的所述第二密封面，其中，所述第一口径大于所述第二口径；以及工装本体，其第一端连接所述检漏端，而其第二端经由法兰接口连接检漏仪，用于在所述检漏仪提供的负压下，经由所述检漏端密封所述磁流体或所述冷却支座的密封面，并向所述密封面提供负压，以对其进行检漏。
全文数据：
权利要求：
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