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申请/专利权人：无锡松煜科技有限公司
摘要：本发明提供一种太阳能电池钝化层结构及其制备方法、应用，所述制备方法包括：（1）采用笑气、氨气和氢气中一种或多种对基底表面进行悬挂键化学活性改性处理；在基底表面沉积氧化铝膜层，对氧化铝膜层进行等离子体处理，得到改性氧化铝膜层；（2）在改性氧化铝膜层表面沉积氮氧化铝膜层，形成双层叠层结构；（3）将双层叠层结构于保护气氛下退火处理。本发明通过对氧化铝膜层进行等离子体处理，使得氧化铝本身吸附更多结合能更强的OH键及H键，在改性氧化铝膜层表面沉积氮氧化铝膜层起到增强改性氧化铝膜层的钝化性能及太阳电池光吸收功能的作用，从而提高钝化效果。
主权项：1.一种太阳能电池钝化层结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤（1）：采用笑气、氨气和氢气中一种或多种对基底表面进行悬挂键化学活性改性处理；在经过悬挂键化学活性改性处理后的基底表面沉积氧化铝膜层，对氧化铝膜层进行等离子体处理，得到改性氧化铝膜层；所述对氧化铝膜层进行等离子体处理为在沉积氧化铝膜层的过程中对氧化铝膜层进行等离子体处理；步骤（2）：在改性氧化铝膜层表面沉积氮氧化铝膜层，形成双层叠层结构；所述氮氧化铝膜层的折射率范围为1.7~1.9；步骤（3）：将双层叠层结构于保护气氛下退火处理，即制得太阳能电池钝化层结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡松煜科技有限公司 一种太阳能电池钝化层结构及其制备方法、应用
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