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申请/专利权人：南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院
摘要：本发明公开了一种适用于集成电路在线量检测的载波相移干涉测量方法，包括：获取单帧干涉图，利用空间载波技术原理将所述单帧干涉图划分出多帧相移子干涉图；对所述多帧相移子干涉图通过分组策略分为X,Y两组；任选其中一组进行奇异值分解；计算Y＝SX中的近似矩阵S，并计算出近似矩阵S的特征值λ和特征向量Q；计算动态模式，得到待测相位。本发明有效解决单帧载波相位提取方法的高精度和高效率不能并存的问题，不需要使用任何迭代过程，采用了更先进的动态模式分解策略大大提高了计算效率，且可以有效地抑制噪声，具有良好的实时在线检测能力。
主权项：1.一种适用于集成电路在线量检测的载波相移干涉测量方法，其特征在于，包括：获取单帧干涉图，利用空间载波技术原理将所述单帧干涉图划分出多帧相移子干涉图；对所述多帧相移子干涉图通过分组策略分为X,Y两组；任选其中X组进行奇异值分解；计算Y＝SX中的近似矩阵S，并计算出近似矩阵S的特征值λ和特征向量Q；计算出各动态模式，进而得到待测相位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京航空航天大学 南京航空航天大学苏州研究院 一种适用于集成电路在线量检测的载波相移干涉测量方法
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