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申请/专利权人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要:本发明公开了一种III族氮化物基纳米线柔性光电电化学探测器及其制备方法。其中,柔性光电电化学探测器包括:柔性导电衬底,包括柔性基底和形成在柔性基底上的导电层;III族氮化物基纳米线,连接在导电层上;绝缘材料层,覆设于柔性导电衬底上并具有通孔,III族氮化物基纳米线被包围在通孔中并从绝缘材料层的表面上暴露出;准固态电解质层,覆设于绝缘材料层上并填充通孔以包覆III族氮化物基纳米线;对电极层,连接在准固态电解质层上。本发明中使用III族氮化物基纳米线作为光电电化学探测器的工作电极,提高了探测器的稳定性,进一步地,基于III族氮化物基纳米线的工作电极并结合准固态电解质,可以减小器件的体积而适于进行器件的高度集成。
主权项:1.一种III族氮化物基纳米线柔性光电电化学探测器,其特征在于,包括:柔性导电衬底,包括柔性基底和形成在柔性基底上的导电层;III族氮化物基纳米线,连接在所述导电层上;绝缘材料层,覆设于所述柔性导电衬底上并具有通孔,所述III族氮化物基纳米线被包围在所述通孔中并从所述绝缘材料层的表面上暴露出;准固态电解质层,覆设于所述绝缘材料层上并填充所述通孔以包覆所述III族氮化物基纳米线;对电极层,连接在所述准固态电解质层上。
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权利要求:
百度查询: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 III族氮化物基纳米线柔性光电电化学探测器及其制备方法
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