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申请/专利权人：天津大学
摘要：本发明属于样品表面形貌的三维测量领域，涉及一种基于偏振光干涉光谱的同步相移测量系统及方法。系统包括光源模块、测量干涉模块、光谱干涉模块、图像探测模块、计算机控制分析模块。使用Linnik型显微干涉结构作为测量干涉单元。调节载物台使样品和系统光轴垂直；用计算机采集干涉图像，分别提取四个偏振角度的干涉信号；利用四步相移法计算相位信息；通过相位与波数之间的关系得到样品表面形貌和薄膜样品的表面形貌及厚度信息。本系统将空间相移和线光谱相结合，大幅提高了测量效率与抗干扰能力，可以应用在微纳米级的半导体硅片、精密光学器件等样品的测量。
主权项：1.一种基于偏振光干涉光谱的同步相移测量系统，其特征在于，包括：光源模块，所述光源模块包含白光光源、透镜、光阑、起偏器，从白光光源发出的光依次经过透镜、光阑、起偏器后变为线偏振光；测量干涉模块，所述测量干涉模块包含偏振分光棱镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、第三四分之一波片、参考镜，线偏振光入射至偏振分光棱镜被分为振动方向互相垂直的参考光P光和测量光S光，所述参考光P光经过快轴与x轴成45°放置的第一四分之一波片变为圆偏振光后入射至参考镜后反射，再次经过第一四分之一波片变为参考光S光；所述测量光S光经过快轴与x轴成45°放置的第二四分之一波片变为圆偏振光后入射至样品后反射，再次经过第二四分之一波片变为测量光P光，参考光S光与测量光P光通过偏振分光棱镜后通过快轴与x轴成45°放置的第三四分之一波片后变为旋转方向相反的两束圆偏振光；光谱干涉模块及图像探测模块，包含管镜、分光棱镜、线光谱模块、偏振相机及CCD相机，两束圆偏振光通过管镜一部分通过分光棱镜透射，在CCD相机上成像，另一部分通过分光棱镜反射，穿过线光谱模块成像在偏振相机上；计算机控制分析模块，所述计算机控制分析模块采集干涉图像，分别提取四个偏振角度的干涉信号，利用四步相移法计算相位信息，通过相位与波数之间的关系计算绝对距离进而得到样品的表面形貌信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 基于偏振光干涉光谱的同步相移测量系统及方法
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