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申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
摘要：本申请涉及晶体加工设备的技术领域,公开了一种连续加料连续长晶的晶体生长装置，其包括拉晶单元，包括炉体、坩埚以及隔离阀；坩埚位于炉体中，炉体上具有与炉体内部连通的进料通道，隔离阀安装于进料通道上，用于对进料通道进行启闭；以及送料单元，包括基座、仓体、加料仓、送料管以及波纹管；加料仓架设于仓体中，送料管一端安装仓体中并与加料仓的出料口相对，且仓体具有供送料管延伸出的让位口；波纹管连接于进料通道与仓体之间，以将进料通道与让位口连通，且波纹管同时套设送料管；仓体移动于基座上，以能够带动送料管远离仓体的一端通过进料通道进入或离开炉体。本申请能够使晶体加工过程中不易受到外部环境的影响。
主权项：1.一种连续加料连续长晶的晶体生长装置，其特征在于，包括：拉晶单元（1），包括炉体（101）、坩埚（102）以及隔离阀（103）；所述坩埚（102）位于所述炉体（101）中，所述炉体（101）上具有与所述炉体（101）内部连通的进料通道（3），所述隔离阀（103）安装于所述进料通道（3）上，用于对所述进料通道（3）进行启闭；以及送料单元（2），包括基座（201）、仓体（202）、加料仓（203）、送料管（204）以及波纹管（205）；所述加料仓（203）架设于所述仓体（202）中，所述送料管（204）一端安装所述仓体（202）中并与所述加料仓（203）的出料口相对，且所述仓体（202）具有供所述送料管（204）延伸出的让位口（4）；所述波纹管（205）连接于所述隔离阀（103）与所述仓体（202）之间，以将所述进料通道（3）与所述让位口（4）连通，且所述波纹管（205）同时套设所述送料管（204）；所述仓体（202）移动于所述基座（201）上，以能够带动所述送料管（204）远离所述仓体（202）的一端通过所述进料通道（3）进入或离开所述炉体（101）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 一种连续加料连续长晶的晶体生长装置
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