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一种人工触觉感知系统及其应用 

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申请/专利权人:宁波大学

摘要:本发明公开了一种人工触觉感知系统及其应用,该系统包括薄膜晶体管以及电容式触觉传感器,电容式触觉传感器为由上电极、介电层和下电极依次叠置而成的三明治结构,上电极包括第一衬底和第一导电层,下电极包括第二衬底和第二导电层,第二导电层设置在介电层的正下方,第二导电层与介电层之间具有空隙,薄膜晶体管包括自下而上依次设置的第三衬底、第三导电层、绝缘层和电极组件,第三导电层与第二导电层通过第一导线连接,两个电极为人工触觉感知系统的信号输出端。该系统能够实现信号的感测、计算和存储功能,可应用于实现模拟人脑的多重记忆功能、摩斯电码的解码功能和仿生高通滤波功能,有望在下一代电子皮肤和可穿戴人机界面中发挥重要作用。

主权项:1.一种人工触觉感知系统,其特征在于,所述的人工触觉感知系统包括薄膜晶体管以及与所述的薄膜晶体管串联的电容式触觉传感器,所述的电容式触觉传感器为由上电极、介电层和下电极依次叠置而成的三明治结构,所述的上电极包括第一衬底和第一导电层,所述的第一衬底为PET薄膜,所述的介电层为壳聚糖薄膜,所述的介电层沉积在所述的第一导电层的表面,所述的下电极包括第二衬底和第二导电层,所述的第二衬底的材料为弹性体,所述的第二衬底的表面具有金字塔形微结构阵列,所述的第二导电层为沉积在所述的第二衬底的表面的导电颗粒,所述的第二导电层设置在所述的介电层的正下方,所述的第二导电层的表面的边缘设置有一圈绝缘材料组成的垫高圈,所述的第二导电层与所述的介电层之间具有空隙,所述的薄膜晶体管包括自下而上依次设置的第三衬底、第三导电层、绝缘层和电极组件,所述的绝缘层为固态电解质膜,所述的电极组件包括两个电极及连接所述的两个电极的导电界面,其中一个所述的电极为所述的薄膜晶体管的源极,另一个所述的电极为所述的薄膜晶体管的漏极,所述的导电界面为半导体沟道,所述的两个电极和所述的导电界面的材料均为金属氧化物,所述的第三导电层的材料为氧化物,所述的第三导电层为所述的薄膜晶体管的栅极,所述的薄膜晶体管的栅极与所述的第二导电层通过第一导线连接,所述的两个电极为所述的人工触觉感知系统的信号输出端。

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