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一种高世代TFT-LCD玻璃基板制备工艺 

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申请/专利权人:中建材玻璃新材料研究院集团有限公司;蚌埠中光电科技有限公司;凯盛科技集团有限公司;中国建材国际工程集团有限公司

摘要:本申请公开了一种微缺陷、高品质、高世代TFT‑LCD玻璃基板浮法工艺。相较于普通浮法工艺,本发明针对TFT‑LCD玻璃基板特殊性,配料工序基于优化设计的原料配方,采用喷吹、振动手段辅助投料,提高组分均匀稳定性;熔化工序采用立体气‑电复合加热实现充分熔化;澄清工序特别采用铂金通道澄清及强制扰流均化完成高效澄清均化;成型工序通过对加热单元与微型拉边机的精细调控,提升展薄质量;退火工序通过独立分区精密退火控制,实现精细退火;研磨工序采用特殊设计倒角研磨盘和研磨垫,以及优选硬度的研磨垫进行研磨,实现优异的加工效果。通过上述工序的优化设计与创新组合,开发了全新的高世代TFT‑LCD玻璃基板浮法生产工艺。

主权项:1.一种高世代TFT-LCD玻璃基板浮法制备工艺,其特征在于,该工艺由多个工序系统组合而成,包括:配料工序:选用无碱铝硼硅酸盐玻璃原料配方,称取各种原料并混合,投料至熔窑,投料时采取喷吹或振动方式防止滞料或积料;熔化工序:采用电极助熔和全氧燃烧复合加热方式将玻璃配合料熔化成熔融玻璃液;澄清均化工序:多条高温段铂金通道与1条低温段铂金通道组合而成的铂金通道对熔融玻璃液进行澄清均化;成型工序:熔融玻璃液浮于锡液表面形成连续玻璃带,调控锡槽中可独立控温的加热单元,及微型拉边机的展薄力,使玻璃带展薄成玻璃基板;退火工序:退火窑分成多个分区,各分区独立控温,对玻璃基板退火;研磨工序:硬度比为90HD-100HD:60HD-70HD:35HD-40HD的粗磨、细磨、抛光三种研磨垫配合研磨液依次对玻璃基板进行研磨抛光处理。

全文数据:

权利要求:

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