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申请/专利权人：圆益IPS股份有限公司
摘要：根据本发明的一实施例的基板处理装置包括：工艺腔室，在内部形成用于处理多个基板的处理空间；气体喷射部，形成在所述工艺腔室上侧，并且向所述处理空间喷射处理气体；基板支撑部，在所述工艺腔室内部与所述气体喷射部相向形成，并且形成有多个，以放置所述多个基板；基板传送部，设置在所述工艺腔室，并且将分别放置于所述基板支撑部的所述多个基板在所述基板支撑部中传送于相互不同的基板支撑部；基板旋转部，形成在多个所述基板支撑部中彼此相邻的所述基板支撑部之间，以分别放置所述多个基板，并且旋转已放置的所述多个基板；其中，所述基板旋转部可包括张力调节部，以调节张力。
主权项：1.一种基板处理装置，包括：工艺腔室，在内部形成用于处理多个基板的处理空间；气体喷射部，形成在所述工艺腔室上侧，并且向所述处理空间喷射处理气体；基板支撑部，在所述工艺腔室内部与所述气体喷射部相向形成，并且形成有多个，以放置所述多个基板；基板传送部，设置在所述工艺腔室，并且将分别放置于所述基板支撑部的所述多个基板在所述基板支撑部中传送于相互不同的基板支撑部；基板旋转部，形成在多个所述基板支撑部中彼此相邻的所述基板支撑部之间，分别放置所述多个基板，并且旋转已放置的所述多个基板；其中，所述基板旋转部包括：驱动轴部，形成在所述工艺腔室的下部，并且以中心轴为准旋转驱动；旋转板，与所述驱动轴部连接，随着所述驱动轴部的旋转而进行旋转，并且由多个旋转放置部形成，以放置所述多个基板；传动部，为使所述驱动轴部的旋转力传递于所述旋转板，连接所述驱动轴部与所述旋转板；及张力调节部，形成在所述传动部的至少一部分，以调节连接所述驱动轴部与所述旋转板的所述传动部的张力。
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权利要求：
百度查询： 圆益IPS股份有限公司 基板处理装置
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