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申请/专利权人：广东交通职业技术学院
摘要：本发明提供一种银基复合透明导电薄膜及其制备方法，清洗透明基底并放入已装好银靶材、金属靶材以及氧化物靶材的磁控溅射腔体中；在透明基底上依次溅射形成第一层透明氧化物层、岛状超薄银层、金属层（将岛状银层连接）、第二层透明氧化物层。其中对导电性能其关键作用的为超薄银薄膜和金属薄膜，利用沉积的金属层将孤立的银岛连接，从而降低表面粗糙度，使方阻下降。同时在超薄银薄膜金属薄膜界面，由于银与所沉积金属间的折射率差异，还可形形成干涉效应，从而降低光的反射，使透光率增加。超薄银薄膜和金属薄膜沉积相对独立，因此工艺参数灵活多变。
主权项：1.一种银基复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、清洗透明基底并放入已装好银靶材、金属靶材以及氧化物靶材的磁控溅射腔体中；所述银靶材和金属靶材安装在直流溅射靶位置，氧化物靶安装在射频溅射靶位置；步骤2、将磁控溅射腔体真空度抽至5×10-4Pa以下，透明基底的温度保持在室温，然后通入溅射气体氩气，压强控制在0.5Pa~1Pa范围内，溅射形成15nm~50nm的第一层透明氧化物层；在第一层透明氧化物层上溅射形成4nm~8nm的岛状超薄银层；步骤3、继续在岛状超薄银层上溅射形成0.5nm~2nm金属层，将岛状银层连接；在金属层上再溅射形成15nm~50nm的第二层透明氧化物层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东交通职业技术学院 一种银基复合透明导电薄膜及其制备方法
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