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申请/专利权人：宁夏鑫晶新材料科技有限公司

摘要：本发明提供了一种石英坩埚的制备工艺，包括以下步骤，将石英砂原料置于模具中，在第一转速下，石英砂原料附着在模具内壁上，在第一真空条件下，起弧电流从零增加至第一起弧电流，进行真空起弧熔融，附着在模具内壁的石英砂表面开始液化并形成密封液相层；在附着在模具内壁的石英砂表面形成密封液相层后，在第二真空条件下、第二转速下和第二起弧电流下，继续真空起弧熔融，制备石英坩埚的透明层；在第三真空条件下、第三转速下和第三电流下，持续真空起弧熔融，得到石英坩埚。本发明通过改变模具转速，真空度以及电弧电压等相关参数条件，改善石英坩埚透明层的微气泡问题，从而减少后续使用中的气泡膨胀问题。

主权项：1.一种石英坩埚的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：1）将石英砂原料置于模具中，在第一转速下，石英砂原料附着在模具内壁上，在第一真空条件下，起弧电流从零增加至第一起弧电流，进行真空起弧熔融，附着在模具内壁的石英砂表面开始液化并形成密封液相层；所述起弧电流从零增加至第一起弧电流的时间为20~50s；所述第一起弧电流为4000~4200A；所述起弧电流从零增加至第一起弧电流具体过程为：阶梯增加起弧电流至第一起弧电流；所述第一转速为75~80rpm；所述密封液相层的厚度为1~3mm；所述第一真空的真空度为-0.005~0.01MPa；2）在附着在模具内壁的石英砂表面形成密封液相层后，在第二真空条件下、第二转速下和第二起弧电流下，继续真空起弧熔融，制备石英坩埚的透明层；所述第二转速为76.5~84rpm；所述第二转速大于第一转速；所述第二真空的压力小于第一真空的压力；所述第二起弧电流小于第一起弧电流；所述第二起弧电流为2000~3000A；所述第二真空的真空度为-0.01~0.1MPa；所述步骤2）中，具体为，先将第一转速改变为第二转速，再将第一真空和第一起弧电流改变为第二真空和第二起弧电流；所述透明层的厚度为2~3mm；3）在第三真空条件下、第三转速下和第三起弧电流下，持续真空起弧熔融，得到石英坩埚；所述第三转速为78~88rpm；所述第三起弧电流为4000~4200A；所述第三转速大于第二转速；所述第三起弧电流大于第二起弧电流；所述第三真空的真空度大于等于-0.01~0.1MPa；所述步骤3）中，具体为对石英坩埚的透明层进行处理，使透明层与气泡层之间形成层次感；所述步骤3）过程中继续形成透明层；所述步骤3）中形成的透明层的厚度为1~2mm。

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