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申请/专利权人：洛克利光子有限公司
摘要：本文公开一种光电装置，所述光电装置包括：肋形波导，所述肋形波导包括：脊部分，所述脊部分包括对温度敏感的光学有源区，以及平板部分，所述平板部分邻近所述脊部分定位；所述装置还包括加热器，所述加热器安置在所述平板部分的顶部上，其中所述加热器的最靠近脊部分的部分距离所述脊部分至少2μm。所述装置还可以具有设置有底部包覆层的加热器，并且还可以包括各种热绝缘增强腔。
主权项：1.一种光电装置，所述光电装置包括：肋形波导，所述肋形波导包括：脊部分，所述脊部分包括对温度敏感的光学有源区，以及平板部分，所述平板部分定位在所述脊部分下方；所述装置还包括加热器，所述加热器安置在位于所述平板部分下方的外延结晶包覆层中，其中所述加热器包括所述外延结晶包覆层的掺杂区；以及所述装置还包括所述外延结晶包覆层的未掺杂区，所述未掺杂区位于所述掺杂区与所述平板部分之间。
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