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申请/专利权人：安捷伦科技有限公司
摘要：公开了一种ATR扫描系统和一种用于将样本靠着ATR物镜的反射表面定位的方法。扫描系统包括ATR物镜33、控制器40、载物台31、和高度轮廓仪35、37。控制器形成反射表面34的图像。载物台以由控制器确定的速度在朝向反射表面的方向上移动样本32。当z轴载物台以第一速度移动样本时，高度轮廓仪测量样本和反射表面之间的最小距离。当样本距离ATR物镜的反射表面预定距离时，控制器使z轴载物台以第二速度向反射表面移动，同时形成反射表面的接近图像，以确定样本是否与反射表面接触。
主权项：1.一种ATR扫描系统，包括：ATR物镜，其特征在于反射表面，进入所述ATR物镜的光从该反射表面全反射；控制器，其使光束进入所述ATR物镜并聚焦到所述反射表面上的一点，使得所述光束在所述点处从所述反射表面全反射，所述点由所述控制器控制，所述控制器通过在所述反射表面上的多个不同点的每一个点处测量从所述反射表面反射的光的强度来形成所述反射表面的图像；z轴载物台，其以由所述控制器确定的速度在朝向所述反射表面的方向上移动样本；和高度轮廓仪，其在所述z轴载物台以第一速度朝向所述反射表面移动所述样本时测量所述样本与所述反射表面之间的距离，其中所述控制器在所述样本位于所述反射表面的第一距离内之前形成所述反射表面的背景图像，并且其中当所述样本比所述第一距离更近时，所述控制器使所述z轴载物台以第二速度朝向所述反射表面移动，同时形成所述反射表面的接近图像，并将所述接近图像与所述背景图像进行比较，所述第二速度小于所述第一速度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安捷伦科技有限公司 用于使ATR晶体和样本之间的接触自动化的方法和装置
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