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申请/专利权人：极光先进雷射株式会社
摘要：本公开的一个观点的激光装置具有：多个半导体激光器；多个光开关，它们被配置在多个半导体激光器各自的光路上；波长转换系统，其对从多个光开关输出的脉冲光进行波长转换，而生成波长转换光；ArF准分子激光放大器，其对波长转换光进行放大；以及控制器，其对多个半导体激光器和多个光开关的动作进行控制，多个半导体激光器分别输出使波长转换光的波长成为基于ArF准分子放大器的放大波长、且与氧对光的吸收线不同的波长的激光。
主权项：1.一种激光装置，其具有：多个半导体激光器；多个光开关，它们被配置在所述多个半导体激光器各自的光路上；波长转换系统，其对从所述多个光开关输出的脉冲光进行波长转换，而生成波长转换光；ArF准分子激光放大器，其对从所述波长转换系统输出的所述波长转换光进行放大；以及控制器，其对所述多个半导体激光器和所述多个光开关的动作进行控制，其中，所述多个半导体激光器分别构成为，输出使从所述波长转换系统输出的所述波长转换光的波长为所述ArF准分子激光放大器的放大波长的激光，从所述多个半导体激光器分别输出的所述激光的波长彼此不同，所述多个半导体激光器分别输出使所述波长转换光的波长成为与氧对光的吸收线不同的波长的所述激光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 极光先进雷射株式会社 激光装置、激光加工系统和电子器件的制造方法
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