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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明公开了一种光谱共焦薄膜厚度测量信号的重叠峰分离方法，包括：获取光谱共焦薄膜厚度的波长序列和测量强度信号；基于所述波长序列对重叠峰区域进行划分并获得边缘峰信号；迭代求取所述重叠峰区域的波长信号与边缘峰信号的对称强度差得到新的单峰信号，直至所述迭代前后单峰信号变化满足精度要求。本发明的重叠峰分离方法迭代速度快，精度高，可用于对称峰重叠分解。
主权项：1.一种光谱共焦薄膜厚度测量信号的重叠峰分离方法，其特征在于，包括：获取光谱共焦薄膜厚度的波长序列和测量强度信号；基于所述波长序列对重叠峰区域进行划分并获得边缘峰信号；迭代求取所述重叠峰区域的波长信号与边缘峰信号的对称强度差得到新的单峰信号，直至所述迭代前后单峰信号变化满足精度要求；具体包括：S1：获取重叠峰的边缘峰波长区域的第一波长值；S2：获取所述波长序列中最接近峰值波长的第二波长值，以所述第二波长值为中心，对称形成初始单峰强度信号；将所述测量强度信号与所述初始单峰强度信号对称作差得到单峰强度信号；S3：求取所述单峰强度信号的波长值；S4：迭代循环执行步骤S2-S3，直到迭代前后的单峰信号变化满足精度要求。
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百度查询： 华中科技大学 一种光谱共焦薄膜厚度测量信号的重叠峰分离方法与装置
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