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申请/专利权人：纳米电子成像有限公司
摘要：所公开技术的各方面包括使用深度学习控制器来监控并改进制造过程。在一些方面，所公开技术的方法包括如下步骤：深度学习控制器从两个或多个站接收多个控制值，其中，控制值在部署在制造过程中的两个或多个站处生成；基于控制值预测制造品的中间输出或最终输出的期望值；确定预测的制造品的期望值是否符合规格。在一些方面，该过程还可以包括如下步骤：如果预测的制造品的期望值不符合规格，则生成控制输入。还提供了系统和计算机可读介质。
主权项：1.一种计算机实施的方法，包括：深度学习控制器从两个或多个站接收多个控制值，其中，所述多个控制值在部署在制造过程中的所述两个或多个站处生成；所述多个控制值表示所述两个或多个站的属性；由所述深度学习控制器基于所述多个控制值，预测经历所述制造过程的制造品的中间输出的期望值或最终输出的期望值；其中，所述制造品已经在所述两个或多个站处经历处理步骤；由所述深度学习控制器确定预测的所述制造品的期望值是否符合规格；以及如果预测的所述制造品的期望值不符合规格，则由所述深度学习控制器生成所述两个或多个站中的下游站的一个或多个控制输入，所述一个或多个控制输入被配置为使所述制造品的中间输出或最终输出符合规格。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 纳米电子成像有限公司 制造过程的预测性过程控制
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