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一种镀膜机抽真空系统 

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申请/专利权人:江苏微凯机械有限公司

摘要:本实用新型提供一种镀膜机抽真空系统,包括镀膜机,镀膜机中设置有机器泵、罗茨泵和扩散泵,机器泵的进气口设置在镀膜机的外表面,罗茨泵连接在机器泵上,扩散泵连接在罗茨泵上,机器泵的进气口上设置有进气管道,进气管道的一端连接有过滤器,过滤器上设置有电磁阀,过滤器的进气口一端连接有抽空装置,进气管道上连接有旁路管道,旁路管道上设置有多个过滤原件。本实用新型在进气管道上连接有旁路管道,旁路管道上设置有多个过滤原件,旁路调节的设置可分流,且在进气管道出现问题的情况下,确保整个抽真空系统系统正常使用,进而保证了镀膜机的正常使用。

主权项:1.一种镀膜机抽真空系统,包括镀膜机1,所述镀膜机1中设置有机器泵2、罗茨泵3和扩散泵4,所述机器泵2的进气口5设置在镀膜机1的外表面,罗茨泵3连接在机器泵2上,扩散泵4连接在罗茨泵3上,所述机器泵2的进气口5上设置有进气管道6,进气管道6的一端连接有过滤器7,所述过滤器7上设置有电磁阀8,所述过滤器7的进气口一端连接有抽空装置,其特征在于:所述进气管道6上连接有旁路管道9,所述旁路管道9上设置有多个过滤原件10。

全文数据:

权利要求:

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