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申请/专利权人：深圳市立兴高精科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体阀门装置，包括阀体、进气组件及封堵组件，所述阀体具有第一出气口和至少两个第二出气口；所述进气组件设在所述阀体内，并被构造成在第一位置和第二位置之间可移动，当所述进气组件移动至第一位置时，所述第一出气口被封闭，当所述进气组件移动至第二位置时，所述第一出气口被导通；所述封堵组件可滑动地分别设在至少两个所述第二出气口内，当所述控制组件移动至第一位置时，所述封堵组件将至少两个所述第二出气口导通，当所述控制组件移动至第二位置时，所述封堵组件将至少两个所述第二出气口封闭。本实用新型使气体可以导向不同管道，在控制过程中不需要额外接入不同的阀门进行控制，减少了成本，安装更简单。
主权项：1.一种半导体阀门装置，其特征在于，包括：阀体，所述阀体具有第一出气口和至少两个第二出气口；进气组件，所述进气组件设在所述阀体上，并被构造成在第一位置和第二位置之间可移动，当所述进气组件移动至第一位置时，所述第一出气口被封闭，当所述进气组件移动至第二位置时，所述第一出气口被导通；封堵组件，所述封堵组件可滑动地分别设在至少两个所述第二出气口内，当所述封堵组件移动至第一位置时，所述封堵组件将至少两个所述第二出气口导通，当所述封堵组件移动至第二位置时，所述封堵组件将至少两个所述第二出气口封闭。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市立兴高精科技有限公司 半导体阀门装置
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