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申请/专利权人:深圳市迈捷微科技有限公司
摘要:本实用新型涉及清洗花篮技术领域,且公开了一种PFA清洗花篮,该PFA清洗花篮采用12寸规格,包括清洗花篮结构,清洗花篮结构内部设有槽齿板结构;清洗花篮结构包括主体板,所述主体板连接处设有挡板,所述侧板底部设有底板,所述底板顶部设有侧板,所述侧板之间设有晶圆,所述侧板与晶圆连接处设有槽齿板。该PFA清洗花篮,通过挡板内部伸缩杆的使用,使该清洗花篮能存放市场上的12寸的清洗花篮,同时能够适应不同尺寸和规格的晶圆或其他待清洗物品,能够满足多种清洗需求,同时,通过排水口的使用,能够有效地排除清洗过程中产生的多余液体,避免了清洗液体在花篮中滞留,使清洗花篮能够更快速、更有效地完成清洗任务。
主权项:1.一种PFA清洗花篮,该PFA清洗花篮采用12寸规格,包括清洗花篮结构,清洗花篮结构内部设有槽齿板结构;其特征在于:清洗花篮结构包括主体板1,所述主体板1连接处设有挡板2,所述主体板1底部设有底板3,所述底板3顶部设有侧板4,所述侧板4之间设有晶圆5,所述侧板4与晶圆5连接处设有槽齿板6;槽齿板结构包括位于槽齿板6上的容置槽7,所述容置槽7底部设有连接骨8,所述槽齿板6底部左侧设有排水口9。
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