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申请/专利权人：上海集成电路材料研究院有限公司
摘要：一种控制电路及电化学加工设备，应用在电化学加工设备中，耦接在所述电化学加工设备的脉冲信号产生装置与电化学工艺槽之间，其中：所述控制电路，适于在接收到所述脉冲信号产生装置输出的第一脉冲信号时导通，以使得所述脉冲信号产生装置与所述电化学工艺槽之间形成电流通路；以及，在未接收到所述第一脉冲信号时断开所述脉冲信号产生装置与所述电化学工艺槽之间的电流通路。采用上述方案，能够避免电化学工艺槽的原电池反应，并能够对第一脉冲信号的占空比进行调整。
主权项：1.一种控制电路，其特征在于，应用在电化学加工设备中，耦接在所述电化学加工设备的脉冲信号产生装置与电化学工艺槽之间，其中：所述控制电路，适于在接收到所述脉冲信号产生装置输出的第一脉冲信号时导通，以使得所述脉冲信号产生装置与所述电化学工艺槽之间形成电流通路；以及，在未接收到所述第一脉冲信号时断开所述脉冲信号产生装置与所述电化学工艺槽之间的电流通路。
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百度查询： 上海集成电路材料研究院有限公司 控制电路及电化学加工设备
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