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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种通过原位电磁感应监测系统补偿半导体晶片的电导率对测得迹线的贡献的方法包括存储或产生经修改的参考迹线。经修改的参考迹线表示通过神经网络修改的由原位电磁感应监测系统对裸掺杂的参考半导体晶片的测量。通过原位电磁感应监测系统来监测基板，以产生取决于导电层的厚度的测得迹线，且将测得迹线的至少一部分应用于神经网络以产生经修改的测得迹线。产生经调整迹线，包括自经修改的测得迹线减去经修改的参考迹线。
主权项：1.一种研磨基板的方法，包括：存储或产生第一迹线，所述第一迹线表示由原位电磁感应监测系统对裸掺杂的参考半导体晶片的测量；使具有安置在半导体晶片之上的导电层的基板与研磨垫接触；产生所述基板与所述研磨垫之间的相对运动；当研磨所述导电层时利用所述原位电磁感应监测系统来监测所述基板，以产生取决于所述导电层的厚度的测得迹线；使用所述测得迹线、所述第一迹线和经配置以减少靠近所述基板边缘的经计算信号值的失真的神经网络，来产生经调整迹线，所述经调整迹线至少部分地补偿所述半导体晶片的电导率对所述测得迹线的贡献和靠近所述基板边缘的经计算信号值的失真；以及进行基于所述经调整迹线暂停研磨或修改研磨参数中的至少一者。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 针对原位电磁感应监测的边缘重建中的基板掺杂的补偿
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