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申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
摘要：一种用于操作电子束系统的方法包括：将供应到电子发射体的第一电位设置为第一值，将供应到束管的第二电位设置为第二值，并且将供应到物体的第三电位设置为第三值，使得该第三电位大于该第一电位并且该第二电位大于该第三电位。该方法还包括：通过修改供应到至少一个聚焦磁透镜的至少一个电流来将该电子束系统的束聚焦在该物体上，其中，如果该至少一个电流在该聚焦期间符合预定标准，则执行以下措施：将该第二电位设置为小于该第二值的第四值；以及增加该至少一个电流并且然后继续通过修改该至少一个电流来将该束聚焦在该物体上，或继续通过修改该第二电位来将该束聚焦在该物体上。
主权项：1.一种用于操作电子束系统的方法，该电子束系统包括：电子束源，该电子束源用于生成电子束；束管，该束管包括第一端和第二端，并且被配置为使得该电子束在该束管的第一端进入该束管并在该束管的第二端从该束管出来；至少一个聚焦磁透镜，该电子束穿过该至少一个聚焦磁透镜；以及供电系统，该供电系统被配置为将第一电位供应到该电子束源的电子发射体，将第二电位供应到该束管，将第三电位供应到物体，并且将至少一个电流供应到该至少一个磁透镜；该方法包括以下步骤：将该第一电位设置为第一值，将该第二电位设置为第二值，并且将该第三电位设置为第三值，使得该第三电位大于该第一电位并且该第二电位大于该第三电位；通过修改该至少一个电流来将该束聚焦在该物体上；如果该至少一个电流在该聚焦期间符合预定标准，则执行以下措施：将该第二电位设置为小于该第二值的第四值；以及：增加该至少一个电流并且然后继续通过修改该至少一个电流来将该束聚焦在该物体上，或继续通过修改该第二电位来将该束聚焦在该物体上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 操作电子束系统的方法、电子束系统和计算机程序产品
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