龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：提供了腔室内维护设备。所述腔室内维护设备可以包括：载物台模块，包括：载物台主体，在具有中空内部的腔室内；XY载物台，安装在载物台主体的上表面上并且在彼此垂直的X轴和Y轴方向上可移动；以及第一驱动部，被配置为驱动XY载物台；以及夹持器模块，包括：夹持器主体，结合到XY载物台的上表面；夹持部，通过夹持器主体支撑并且被配置为相对于与X轴和Y轴垂直的Z轴上下移动和旋转以插入中空内部；以及第二驱动部，被配置为驱动夹持部。
主权项：1.一种腔室内维护设备，包括：载物台模块，包括：载物台主体，在具有中空内部的腔室内；XY载物台，在载物台主体的上表面上并且在彼此垂直的X轴和Y轴上可移动；以及第一驱动部，被配置为驱动XY载物台；以及夹持器模块，包括：夹持器主体，结合到XY载物台的上表面；夹持部，通过夹持器主体支撑并且被配置为相对于与X轴和Y轴垂直的Z轴上下移动和旋转以插入中空内部；以及第二驱动部，被配置为驱动夹持部。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号