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申请/专利权人：杭州广立测试设备有限公司
摘要：本发明提供了一种探针台的控制方法、装置及电子设备，控制待测晶圆到达测试位置；将第一个测试计划作为当前测试计划，获取其自动升降温控制算法，以依次将卡盘的温度调整至卡盘测试温度、根据第一执行模块第一针压完成预热、对预热后的探针进行自动对针处理，然后执行当前测试计划；对下一个测试计划重复上述过程。该方式可以根据测试计划，自动获取卡盘测试温度和第一针压，不需要手动设置，并且该方式在对探针完成预热后，可以对预热后的探针进行自动对针处理，不需要重新扎针并查看针痕，在完成每个测试计划后，不需要重复移出待测晶圆的操作，减少了手动操作的过程，降低了人力成本，简化了操作过程，降低了因人为操作导致的出错风险。
主权项：1.一种探针台的控制方法，其特征在于，所述方法包括：控制待测晶圆进入探针台，并到达预设的测试位置；其中，所述待测晶圆位于所述探针台中卡盘的上方；所述待测晶圆对应至少一个测试计划；将第一个测试计划作为当前测试计划，获取所述当前测试计划的自动升降温控制算法，执行测试前操作，在完成所述测试前操作之后，执行所述当前测试计划；其中，所述自动升降温控制算法中包括所述当前测试计划的卡盘测试温度和预热阶段的第一针压；所述自动升降温控制算法依次将卡盘的温度调整至卡盘测试温度、根据所述第一针压完成预热、对预热后的探针进行自动对针处理；获取下一个测试计划，将所述下一个测试计划作为新的当前测试计划，重复执行获取所述当前测试计划的自动升降温控制算法，执行测试前操作，在完成所述测试前操作之后，执行所述当前测试计划的步骤，直至基于最后一个测试计划完成对所述待测晶圆的测试。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州广立测试设备有限公司 探针台的控制方法、装置及电子设备
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