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申请/专利权人：北京理工大学

摘要：配合子孔径拼接术使用的通用部分补偿器设计方法及装置，结构简单、通用性强，显著提高子孔径拼接术检测大口径非球面的效率，降低子孔径拼接术检测大口径非球面所需的硬件要求和成本。方法包括：1获取非球面测量光路各系统参数；2设置部分补偿器初始结构参数，部分补偿器由一个双胶合透镜构成；3将非球面中心子孔径作为被测镜对部分补偿器的结构优化，得到部分补偿器L0；4分别将非球面中心孔径外的n圈子孔径作为被测镜对L0优化，相应得到部分补偿器；5对部分补偿器补偿效果评价，选取效果最佳的部分补偿器Lb；6将Lb作为初始结构，针对被测非球面全口径对Lb进行优化，得到最终的部分补偿器Le。

主权项：1.配合子孔径拼接术使用的通用部分补偿器设计方法，其特征在于：其包括以下步骤：1获取非球面测量光路各系统参数；2设置部分补偿器初始结构参数，部分补偿器由一个双胶合透镜构成；3将非球面中心子孔径作为被测镜对部分补偿器的结构进行优化，得到部分补偿器L0；4分别将非球面中心孔径外的n圈的子孔径作为被测镜对L0进行优化，相应得到部分补偿器L1，L2……Ln；5对部分补偿器L0，L1……Ln的补偿效果进行评价，选取补偿效果最佳的部分补偿器Lb；6将部分补偿器Lb作为初始结构，针对被测非球面全口径对部分补偿器Lb进行优化，得到最终的部分补偿器Le；所述步骤3包括以下分步骤：3.1选定优化变量：设置双胶合透镜的三个曲率半径、透镜厚度、玻璃材料、透镜与被测非球面间的距离为优化变量。3.2设置优化目标：以波前wavefront为优化目标，设置MeritFunction菜单Tools子菜单下DefaultMeritFunction的优化目标为wavefront，设置其优化类型为均方根值RMS；3.3设置优化操作数：通过最小玻璃中心厚度操作数MNCG、最大玻璃中心厚度操作数MXCG、最小玻璃边缘厚度操作数MNEG、最大玻璃边缘厚度操作数MXEG控制双胶合透镜的每个透镜厚度在10-30mm的范围内；通过最小空气中心厚度操作数MNCG、最大空气中心厚度操作数MXCG、最小空气边缘厚度操作数MNEG、最大空气边缘厚度操作数MXEG控制双胶合透镜到被测面的距离在1000-4000mm的范围内；插入操作数REAY作为光线追迹，设置在被测非球面处Py＝1，优化目标为D02，使得通过正透镜后的上边缘光线到达被测凸非球面上边缘，再插入同一个操作数REAY，设置Py＝-1，优化目标为-D02，使得通过透镜后的下边缘光线达到被测非球面下边缘，从而控制部分补偿检测系统的光线对被测非球面的全口径进行检测；3.4执行优化：对部分补偿检测系统进行优化。

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权利要求：

百度查询： 北京理工大学 配合子孔径拼接术使用的通用部分补偿器设计方法及装置