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申请/专利权人：香港科技大学
摘要：本发明公开了一种检测导电液滴的电容传感器集成单元、集成阵列及方法，应用于数字微流控系统，所述电容传感器集成单元包括：电容传感器；在电容传感器中，第一电极沉积并图案化于衬底的部分上表面；第一绝缘材料覆盖于衬底与第一电极上方；第二电极沉积并图案化于第一绝缘材料的部分上表面，第一电极与第二电极在水平方向上无交叠；其中，第一电极、第一绝缘材料与第二电极形成检测电容；在电容传感器上有导电液滴时的检测电容值，大于在电容传感器上无导电液滴时的检测电容值。本发明能够通过电容传感器的电容大小判断液滴的存在，可应用于在二维平面存在分立电极的数字微流控系统，实现液滴位置的实时监测。
主权项：1.一种检测导电液滴的电容传感器集成单元，应用于数字微流控系统，其特征在于，所述数字微流控系统通过电极阵列，利用电信号对微量液体运动进行精准操纵；所述电容传感器集成单元包括：电容传感器；所述电容传感器包括衬底、第一电极、第一绝缘材料以及第二电极；所述第二电极为所述数字微流控系统的电极；在所述电容传感器中，所述第一电极，沉积并图案化于所述衬底的部分上表面；所述第一绝缘材料，覆盖于所述衬底与所述第一电极上方；所述第二电极，沉积并图案化于所述第一绝缘材料的部分上表面，所述第一电极与所述第二电极在水平方向上无交叠；其中，所述第一电极、所述第一绝缘材料与所述第二电极形成检测电容；在所述电容传感器上有导电液滴时的检测电容值，大于在所述电容传感器上无所述导电液滴时的检测电容值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 香港科技大学 检测导电液滴的电容传感器集成单元、集成阵列及方法
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