龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
摘要：本申请属于半导体工艺技术领域，公开了一种绝缘体上锗短波红外图像传感器及其制造方法，该图像传感器包括：读出电路、钝化层、N型电极和P型电极，以及依次叠加的第二硅衬底、热氧层、氧化铝层、P型重掺杂锗层、本征锗传感层、P型电荷层、本征锗量子阱层、本征锗层和N型重掺杂锗层，以及多个形状相同并以预设间隔分布的矩形凹槽；P型电荷层的长度小于预设间隔，数量大于0且小于矩形凹槽的数量减1；N型电极穿过钝化层连接P型重掺杂锗层；P型电极穿过钝化层连接N型重掺杂锗层；各N型电极和各P型电极均与读出电路连接。本申请能够同时处理强光信号和弱光信号，拓展了图像传感器的动态响应范围，使其能够适应更广泛的应用场景。
主权项：1.一种绝缘体上锗短波红外图像传感器，其特征在于，包括：读出电路、钝化层、N型电极和P型电极，以及依次叠加的第二硅衬底、热氧层、氧化铝层、P型重掺杂锗层、本征锗传感层、P型电荷层、本征锗量子阱层、本征锗层和N型重掺杂锗层，以及多个形状相同并以预设间隔分布的矩形凹槽；所述矩形凹槽贯穿所述N型重掺杂锗层、所述本征锗层、所述本征锗量子阱层和所述本征锗传感层；所述钝化层叠加在所述N型重掺杂锗层和各所述矩形凹槽的内壁上；所述P型电荷层的长度小于所述预设间隔，数量大于0且小于所述矩形凹槽的数量减1；所述N型电极设于所述矩形凹槽的底部，穿过所述钝化层连接所述P型重掺杂锗层；所述P型电极穿过所述钝化层连接所述N型重掺杂锗层；各所述N型电极和各所述P型电极均与读出电路连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 一种绝缘体上锗短波红外图像传感器及其制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号