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申请/专利权人：季华实验室
摘要：本发明公开了一种巨量转移装置及其转移控制方法，涉及转移技术领域，巨量转移装置包括底座、主控器、移动机构、静电转移头、源基板及目标基板；主控器和移动机构设于底座，移动机构与主控器电连接；静电转移头设于移动机构的端部；静电转移头设有与主控器电连接的多个电极凸台；源基板设于底座，并与主控器电连接；源基板具有多个放置位，每一放置位用于放置一个待转移的MicroLED芯片；目标基板设于底座，并与主控器电连接；目标基板具有多个转移位，转移位用于放置转移后的MicroLED芯片，每一转移位设有一个与主控器电连接的传感器，传感器用于检测在转移位上的MicroLED芯片的点亮情况。本发明提供的技术方案实现巨量选择性转移的同时，还提高转移精确度。
主权项：1.一种巨量转移装置，其特征在于，所述巨量转移装置包括：底座；主控器，所述主控器设于所述底座；移动机构，所述移动机构设于所述底座，并与所述主控器电连接；静电转移头，所述静电转移头设于所述移动机构的端部；所述静电转移头设有与所述主控器电连接的多个电极凸台，多个所述电极凸台呈阵列排布设置；源基板，所述源基板设于所述底座，并与所述主控器电连接；所述源基板具有呈阵列排布的多个放置位，每一所述放置位用于放置一个待转移的MicroLED芯片；及目标基板，所述目标基板设于所述底座，并与所述主控器电连接；所述目标基板具有呈阵列排布的多个转移位，所述转移位用于放置转移后的MicroLED芯片，每一所述转移位设有一个与所述主控器电连接的传感器，所述传感器用于检测放置在所述转移位上的MicroLED芯片的点亮情况。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 季华实验室 巨量转移装置及其转移控制方法
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