龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海恢卓光学科技有限公司
摘要：本发明公开了光学技术领域的一种双波长晶圆形貌光学测量系统及方法，包括：光源模块：接收控制器发出的控制信号，以及，基于控制信号向准直物镜模块同步发出波长不同的两束光束；准直物镜模块：将所述两束光束通过镜片调整成平行光束后，分别射向晶圆表面和聚焦成像模块，以及，接收晶圆表面的反射光束后射向聚焦成像模块；聚焦成像模块：将所述反射光束和所述平行光束产生的相位差信息传到控制器；控制器：基于所述相位差信息进行数据融合，计算合成波长后进行相位解析，测量晶圆形貌。本发明采用两种波长的光源进行同步波长相移，通过光路系统在相机上分别获取不同波长的干涉条纹，实现大翘曲晶圆形貌测量。
主权项：1.一种双波长晶圆形貌光学测量系统，其特征是，包括：光源模块：接收控制器发出的控制信号，以及，基于控制信号向准直物镜模块同步发出波长不同的两束光束；准直物镜模块：将所述两束光束通过镜片调整成平行光束后，分别射向晶圆表面和聚焦成像模块，以及，接收晶圆表面的反射光束后射向聚焦成像模块；聚焦成像模块：将所述反射光束和所述平行光束产生的相位差信息传到控制器；控制器：基于所述相位差信息进行数据融合，计算合成波长后进行相位解析，测量晶圆形貌。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海恢卓光学科技有限公司 一种双波长晶圆形貌光学测量系统及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号