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申请/专利权人:夏泰鑫半导体(青岛)有限公司
摘要:本发明提供一种离子产生装置,所述离子产生装置包括电弧室以及电子源装置。所述电子源装置包含阴极以及灯丝。所述灯丝设置在所述阴极。所述阴极具有主体及设置在所述主体上的盖。所述盖具有接收面及与接收面相对的发射面。所述发射面具有凸面朝向所述电弧室的所述接收区域,其中所述接收面的中心区域是平表面,并且中心区域被锥形侧壁包围。
主权项:1.一种离子产生装置,其特征在于,包括:电弧室,所述电弧室具有接收区域,在运行过程中,所述电弧室内会产生包括化学离子的等离子体;以及电子源装置,所述电子源装置伸入所述电弧室的所述接收区域,所述电子源装置包括:阴极,所述阴极具有主体及设置在所述主体上的盖,所述盖具有接收面及与所述接收面相对的发射面,所述发射面具有朝向所述电弧室的所述接收区域的凸面,其特征在于,所述接收面具有圆锥形状,其中中心区域是平表面,并且中心区域被锥形侧壁包围,所述接收面的所述锥形侧壁与所述发射面之间的距离等于所述接收面的所述平表面与所述发射面之间的距离;以及灯丝,设置在所述阴极的所述主体中。
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