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申请/专利权人：上海芯鸿霖半导体设备有限公司
摘要：本实用新型涉及回收装置技术领域，公开了一种可避免堵塞的研磨液再生回收装置，包括主体，所述主体的内部靠上端一侧固定设置有进料管，所述主体的内部一侧靠下端固定设置有出料管，所述主体的内部一侧设置有收纳机构，所述主体包括外壳和第二转杆，所述外壳的内部一侧固定设置有放置筒，所述放置筒的内部靠上端固定设置有第一滤网，所述外壳的上端固定设置有电机，所述电机的输出端固定设置有第一转杆，所述第一转杆的下端固定设置有清洁刷，所述第一转杆的外部固定设置有第一皮带轮。本实用新型中，当使用本装置时，通过单个电机驱动清洁刷和风扇，省时省力，一定程度上，降低了生产成本。
主权项：1.一种可避免堵塞的研磨液再生回收装置，包括主体1，其特征在于：所述主体1的内部靠上端一侧固定设置有进料管3，所述主体1的内部一侧靠下端固定设置有出料管4，所述主体1的内部一侧设置有收纳机构2，所述主体1包括外壳101和第二转杆112，所述外壳101的内部一侧固定设置有放置筒102，所述放置筒102的内部靠上端固定设置有第一滤网103；所述外壳101的上端固定设置有电机104，所述电机104的输出端固定设置有第一转杆105，所述第一转杆105的下端固定设置有清洁刷107，所述第一转杆105的外部固定设置有第一皮带轮106，所述第二转杆112的下端固定设置有风扇114，所述第二转杆112的外部固定设置有第二皮带轮113，所述外壳101的内部一侧靠上端固定设置有第一气管108，所述收纳机构2包括壳体201和连接筒202，所述连接筒202的内部靠下端固定设置有第二滤网203。
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