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一种基于沟道耗尽浅P阱的快关断SJ-IGBT器件 

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申请/专利权人:重庆万国半导体科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种基于沟道耗尽浅P阱的快关断SJ‑IGBT器件,包括外延层,所述外延层中周期性排布有P柱和N柱,所述N柱的上方设置有P型基区,所述P柱包括第一P柱和第二P柱,所述第一P柱的上端通过浅P阱与P型基区连接,所述浅P阱的上方设置有第一栅电极。本实用新型中,在SJ‑IGBT器件开启时通过第一栅电极的栅压使浅P阱耗尽,阻断第一P柱对空穴的抽取,并抑制空穴流向第一P柱顶端,增加N‑漂移区的载流子注入浓度,提高器件电流密度,降低器件导通损耗;在SJ‑IGBT器件断开时浅P阱会恢复,从而使空穴抽取通道打开,通过第一P柱对空穴的抽取加快SJ‑IGBT器件的关断速度;结构简单,实用性强。

主权项:1.一种基于沟道耗尽浅P阱的快关断SJ-IGBT器件,其特征在于:包括外延层,所述外延层中周期性排布有P柱和N柱,所述N柱的上方设置有P型基区,所述P柱包括第一P柱和第二P柱,所述第一P柱的上端通过浅P阱与P型基区连接,所述浅P阱的上方设置有第一栅电极,所述第一栅电极与外延层之间设置有第一栅氧层。

全文数据:

权利要求:

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