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一种真空镀膜设备 

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申请/专利权人:深圳奥拦科技有限责任公司

摘要:本实用新型适用于镀膜设备技术领域,提供一种真空镀膜设备,包括:沿水平方向依次连接的上料架、第一插板阀、第一缓冲腔、第二插板阀、干燥腔体、第三插板阀、镀膜腔体、第四插板阀、第二缓冲腔、第五插板阀及下料架,上料架、第一缓冲腔、干燥腔体、镀膜腔体、第二缓冲腔及下料架依次对应设置有上料传输机构、第一缓冲传输机构、干燥传输机构、镀膜传输机构、第二缓冲传输机构及下料传输机构,第一缓冲腔、干燥腔体、镀膜腔体及第二缓冲腔分别连接抽真空装置。本实用新型提供的真空镀膜设备可以减少干燥腔体及镀膜腔体抽真空所需时间,提升干燥效率和镀膜效率,且避免外界空气进入干燥腔体和镀膜腔体内降低真空度,从而可以提升镀膜质量。

主权项:1.一种真空镀膜设备,其特征在于,包括沿水平方向依次连接的上料架、第一插板阀、第一缓冲腔、第二插板阀、干燥腔体、第三插板阀、镀膜腔体、第四插板阀、第二缓冲腔、第五插板阀及下料架,所述上料架、所述第一缓冲腔、所述干燥腔体、所述镀膜腔体、所述第二缓冲腔及所述下料架依次对应设置有均用于带动工件自所述上料架向所述下料架方向传输的上料传输机构、第一缓冲传输机构、干燥传输机构、镀膜传输机构、第二缓冲传输机构及下料传输机构,所述第一缓冲腔、所述干燥腔体、所述镀膜腔体及所述第二缓冲腔分别连接抽真空装置。

全文数据:

权利要求:

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