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申请/专利权人：西安晟光硅研半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种气驱式超高压水泵，包括：进气装置、进水装置、气液增压泵、缓冲装置、压力调节装置、反馈装置和输出装置；通过进气装置和进水装置提供稳定的压缩空气和稳定的超纯水作为气液增压泵的气源和水源；使用气液增压泵将超纯水的压力增压到高于预设压力值；利用缓冲装置对增压后的超纯水进行缓冲并存储，再通过压力调节装置对超纯水的压力进行调节至预设压力值，以使得超纯水在保持较小输出流量的同时保证水压的稳定输出，利用反馈装置将输出的超纯水的压力反馈至压力调节装置以实现反馈调节，使得输出的超纯水的压力满足技术需求的同时更加稳定。
主权项：1.一种气驱式超高压水泵，其特征在于，包括：进气装置、进水装置、气液增压泵、缓冲装置、压力调节装置、反馈装置和输出装置；其中，所述进气装置与所述气液增压泵的进气端连接，用于提供稳定的压缩空气至所述气液增压泵；所述进水装置与所述气液增压泵的进水端连接，用于提供稳定的超纯水至所述气液增压泵；所述气液增压泵的输出端与所述缓冲装置的输入端连接，所述气液增压泵用于进行超纯水增压，输出高于预设压力值的超纯水；所述缓冲装置的输出端与所述压力调节装置的输入端连接，所述缓冲装置用于对所述气液增压泵输出的超纯水进行缓冲并存储，保持所述气液增压泵输出的超纯水的压力值在预设范围内；所述压力调节装置的输出端与所述反馈装置的输入端连接的同时，还与所述输出装置的输入端连接，所述压力调节装置用于调节所述缓冲装置输出的超纯水的压力值至所述预设压力值并将调节后的超纯水输出至所述输出装置；所述反馈装置用于将所述压力调节装置输出的超纯水的压力值反馈至所述压力调节装置；所述压力调节装置还用于接收到所述反馈装置反馈的压力值后，对自身输出的超纯水的压力值进行反馈调节；所述输出装置用于将接收到的超纯水输出。
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权利要求：
百度查询： 西安晟光硅研半导体科技有限公司 一种气驱式超高压水泵
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