恭喜芯恩(青岛)集成电路有限公司沈健超获国家专利权
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龙图腾网恭喜芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利安装治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222581090U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420555938.9,技术领域涉及:H01J9/18;该实用新型安装治具是由沈健超设计研发完成,并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本安装治具在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种安装治具。其中,所述安装治具包括:一个或多个定位组件;所述定位组件包括度量尺和一个或多个夹持件,且所述夹持件具有夹持部,用于夹持所述连接柱;以及,所述度量尺的表面具有刻度标记,用于测量所述连接柱和所述电极体的轴向长度,以确定所述电极体相对所述连接柱的安装位置。相较于依赖目测经验的安装方式,本实用新型提供的所述安装治具采用精准稳定地测量方式,确保所述电极体与所述连接柱的标准化安装,大幅度提高了安装的精准度,有效确保静电四重透镜中每对所述电极体和所述连接柱的相对位置,利于降低离子束的异常率,提高工艺效果和产品良率。
本实用新型安装治具在权利要求书中公布了:1.一种安装治具,其特征在于,至少用于静电四重透镜中电极体与连接柱的定位安装,所述安装治具包括:一个或多个定位组件;所述定位组件包括度量尺和一个或多个夹持件;所述夹持件与所述度量尺可活动连接,且所述夹持件具有夹持部,用于夹持所述连接柱;以及,所述度量尺的表面具有刻度标记,用于测量所述连接柱和所述电极体的轴向长度,以确定所述电极体相对所述连接柱的安装位置。
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