恭喜中国科学院长春应用化学研究所季生象获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院长春应用化学研究所申请的专利一种卤代改性制备的光刻胶树脂材料及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115991815B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211638993.6,技术领域涉及:C08F212/08;该发明授权一种卤代改性制备的光刻胶树脂材料及其制备方法是由季生象;赖翰文;刘亚栋设计研发完成,并于2022-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种卤代改性制备的光刻胶树脂材料及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于光刻胶技术领域,本发明公开了一种卤代改性光刻胶树脂材料及其制备方法。本发明利用卤代方法对聚合物进行改性,制备出了曝光性能优异,且卤代官能度可调,可实现树脂玻璃化温度以及光刻胶曝光灵敏度和高宽比可调控的光刻胶用树脂材料。本发明还提供了所述光刻胶树脂材料的制备方法,对发展灵敏度高,分辨率高,曝光时间短,且显影后的图形稳定性高的光刻胶树脂材料具有重要意义。
本发明授权一种卤代改性制备的光刻胶树脂材料及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种卤代改性光刻胶树脂材料,其特征在于,所述光刻胶树脂材料的结构为: 其中,u、v和w为结构单元的摩尔占比,0≤u<0.8,0<v≤0.9,0<w≤0.9,u+v+w=1;R′为H、-CH3和X中的一种或多种;X为-Cl、-Br、-F中的一种或多种;R″为H、-CH3和Y中的一种或多种,其中Y为-Cl、-Br、-F中的一种或多种;Ar为苯环及其衍生物、萘环及其衍生物中的一种或多种;n为正整数;R1为式I和式II中的一种或多种; 其中,R2和R3独立的为-H、-CH3、-CH2CH3、C3~C12烷烃、苯环及其衍生物、萘环及其衍生物中的一种或多种;所述苯环及其衍生物和萘环及其衍生物分别独立的为苯、苯酚、甲苯、二甲苯、乙基苯、三甲基苯、卤代苯、苯甲醇、萘、卤代萘、萘酚、硝基萘、二甲基萘、甲基萘、三甲基萘、萘甲醇中的一种或多种;所述卤代改性光刻胶树脂材料的卤代摩尔百分含量为5~65%。
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