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龙图腾网恭喜拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利绝缘支撑结构、镀膜装置和沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115491660B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211286761.9，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权绝缘支撑结构、镀膜装置和沉积装置是由林佳继;张武;刘群设计研发完成，并于2022-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本绝缘支撑结构、镀膜装置和沉积装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种绝缘支撑结构、镀膜装置和沉积装置，所述绝缘支撑结构包括支撑主体和套体，所述支撑主体的一侧支撑侧开设有嵌合凹槽，另一侧支撑侧设置有嵌合凸起；所述套体套设所述支撑主体，所述套体和所述支撑主体之间设置有间隔件，所述间隔件用于连接所述套体与所述支撑主体，并且所述套体与所述支撑主体之间形成具有连通间隙的夹层空间，所述连通间隙用于连通所述夹层空间与所述套体的外部空间。本发明采用嵌合凸起以及嵌合凹槽进行配合，实现多级电极板之间的绝缘支撑，取消绝缘杆结构，通过设置夹层空间，避免沉积连续膜结构造成的短路问题。

本发明授权绝缘支撑结构、镀膜装置和沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种沉积装置，其特征在于，所述沉积装置包括壳体，所述壳体内间隔交替设置激励电极板以及接地电极板，所述激励电极板和接地电极板之间形成沉积腔，所述激励电极板和或所述接地电极板用于放置基片；所述激励电极板和所述接地电极板之间设置有至少一个支撑件，所述激励电极板和所述接地电极板位于所述支撑件处均开设有通孔，所述支撑件包括至少一个绝缘支撑结构，所述绝缘支撑结构分别设置于所述激励电极板和所述接地电极板之间，所述绝缘支撑结构的所述嵌合凸起穿过所述通孔，并嵌入相邻的所述绝缘支撑结构的所述嵌合凹槽内；所述绝缘支撑结构包括支撑主体和套体，所述支撑主体的一侧支撑侧开设有嵌合凹槽，另一侧支撑侧设置有嵌合凸起；所述套体套设所述支撑主体，所述套体和所述支撑主体之间设置有间隔件，所述间隔件用于连接所述套体与所述支撑主体，并且所述套体与所述支撑主体之间形成具有连通间隙的夹层空间，所述连通间隙用于连通所述夹层空间与所述套体的外部空间；所述嵌合凸起的高度大于所述嵌合凹槽的深度。

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