恭喜徐州博康信息化学品有限公司傅志伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜徐州博康信息化学品有限公司申请的专利一种正性化学放大型光刻胶及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115542665B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211260598.9，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种正性化学放大型光刻胶及其使用方法是由傅志伟;徐亮;何文博;梅崇余;潘新刚设计研发完成，并于2022-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种正性化学放大型光刻胶及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种正性化学放大型光刻胶及其使用方法。所述光刻胶包括如下质量百分比的各组分：聚合物树脂，光刻胶的5％～15％；光致产酸剂，聚合物树脂的2.0％～7.0％；酸猝灭剂，光致产酸剂的5％～30％；溶解促进剂，聚合物树脂的1.0％～5.0％；流平剂，光刻胶的0.01％～0.5％；溶剂，补足百分百；所述聚合物树脂为甲基丙烯酸酯类共聚物，所述甲基丙烯酸酯类共聚物由含有酸敏感基团的甲基丙烯酸酯类化合物和含有极性基团的甲基丙烯酸酯类化合物共聚形成。所述光刻胶的使用方法包括如下步骤：将所述正性放大型光刻胶涂布在硅片上，依次经过前烘、曝光、后烘和显影，得到光刻后的图案。本发明提供的光刻胶能够有效改善在曝光显影后出现线条peeling的问题。
本发明授权一种正性化学放大型光刻胶及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种正性化学放大型光刻胶，其特征在于，所述光刻胶包括如下质量百分比的各组分： 所述聚合物树脂为甲基丙烯酸酯类共聚物，所述甲基丙烯酸酯类共聚物由含有酸敏感基团的甲基丙烯酸酯类化合物和含有极性基团的甲基丙烯酸酯类化合物共聚形成；所述溶解促进剂选自以下通式中的至少一种： 其中，R5、R6、R7和R8各自独立地为氢原子、羧基或羟基，且R5、R6、R7和R8中至少有一个为羧基；P5、P6和P7各自独立地为氢原子、羧基或羟基，且P5、P6和P7中至少有一个为羧基。
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