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龙图腾网恭喜四川铭能科技开发有限公司申请的专利燃气加热沉积炉及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115029684B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210605748.9，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权燃气加热沉积炉及系统是由张麒麟;陈万福;李绍开;熊昌宇;马云设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本燃气加热沉积炉及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了燃气加热沉积炉及系统，包括炉体以及用于给炉体内的待增密物件进行加热的加热装置，所述炉体上部设置有贯穿至炉体内腔的出气口，所述加热装置包括伸入炉体内部用于散热的至少一个辐射管以及通过燃烧出气管中的尾气给所述辐射管加热的燃烧器。将沉积炉的加热方式改为燃气辐射管形式，燃料以沉积炉尾气为主，天燃气为辅，这样既节省了大量电能，又将沉积炉尾气作为热源对沉积炉进行加热，同时燃气辐射管出来的燃烧烟气对碳源气进行预热，真正做到沉积炉系统的节能环保。

本发明授权燃气加热沉积炉及系统在权利要求书中公布了：1.燃气加热沉积炉，包括炉体1以及用于给炉体1内的待增密物件进行加热的加热装置，其特征在于，所述加热装置包括伸入炉体1内部用于散热的至少一个辐射管25以及通过燃烧出气管中的尾气给所述辐射管25加热的燃烧器，所述辐射管25一端为置于炉体1内腔的封闭末端，另一端为穿透炉体1的开口端；所述燃烧器为连接在所述开口端的烧嘴22，烧嘴22通过开口端伸入辐射管25中，所述烧嘴22包括燃气内管221、套设在所述燃气内管221外的空气外管222以及烧嘴通道224，所述空气外管222与开口端之间还安装有烟气管223；所述空气外管（222）的进气口连接有用于为燃烧器供给新鲜气体的烧嘴前助燃空气管路系统（23），烟气管223的烟气出口连接有用于对将要进入炉体1内的化学气体进行预热的预热装置24，燃气内管（221）的进气口连接有用于对烧嘴前的燃气进行调稳压、安全切断、及流量调节的烧嘴前燃气管路系统（21）；化学气体为炭源气，沉积炉所需的炭源气通过预热装置（24）后，温度升高，然后通入沉积炉的底部，提高沉积炉底部的温度，使沉积炉内温度更加均匀。

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