买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜无锡灿晶微电子科技有限公司申请的专利半导体掩模版精密对准系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118534739B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410783311.3，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权半导体掩模版精密对准系统是由郁镇宇设计研发完成，并于2024-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体掩模版精密对准系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，且公开了半导体掩模版精密对准系统，包括激光数据采集模块、图像数据采集模块、数据处理单元。该半导体掩模版精密对准系统，通过分别计算拟合参考值和相似系数并将拟合参考值和相似系数和对应的阈值进行对比，判定半导体和半导体掩模版是否对齐，当只出现任一一个数值在对应的阈值取值范围内时，则判定需要对半导体位置调整，当更换不同形状大小的半导体掩模版和半导体时，可以根据多点的拟合参考值和相似系数的数值判定是否加工或调整，控制单元根据相应的信号控制半导体加工设备加工或对半导体偏差的位置进行调整，从而减少反复调整的次数，提高调整的效率，缩短校准的时间。

本发明授权半导体掩模版精密对准系统在权利要求书中公布了：1.半导体掩模版精密对准系统，其特征在于：包括激光数据采集模块、图像数据采集模块、数据处理单元、数据分析单元以及控制单元构成；所述激光数据采集模块由激光发射单元和激光采集单元构成，所述激光发射单元用于向半导体掩模版以及其表面上放置的半导体射出激光射线，所述激光采集单元用于采集穿透过半导体掩模版以及其表面上放置的半导体的激光射线的位置数据W、激光射线的射入角度数据J以及激光强度数据Q；所述图像数据采集模块用于采集半导体掩模版的边角位置的灰度值YHd、半导体的边角位置的灰度值BHd、半导体掩模版整体灰度特征ZYHd以及半导体整体灰度特征ZBHd；所述激光数据采集模块和图像数据采集模块将采集到的数据发送至数据处理单元中；所述数据处理单元通过激光射线的位置数据W、激光射线的射入角度数据J以及激光强度数据Q计算得出拟合参考值Nh，所述数据处理单元根据半导体掩模版的边角位置的灰度值YHd、半导体的边角位置的灰度值BHd、半导体掩模版整体灰度特征ZYHd以及半导体整体灰度特征ZBHd计算得出相似系数XS，所述数据处理单元将计算得出的拟合参考值Nh和相似系数XS发送至数据分析单元中；所述数据分析单元内预设有拟合参考值阈值Nhyz，所述数据分析单元将拟合参考值阈值Nhyz与拟合参考值Nh对比，判断半导体掩模版以及其表面上放置的半导体是否对齐，当半导体掩模版以及其表面上放置的半导体对齐时，发出对齐信号一，所述数据分析单元预设有相似系数阈值XSyz，所述数据分析单元将相似系数XS与相似系数阈值XSyz对比，判断半导体掩模版以及其表面上放置的半导体的边角图像是否对齐，当半导体掩模版以及其表面上放置的半导体的边角图像对齐时，发出对齐信号二，当对齐信号一和对齐信号二同时出现时，所述数据分析单元向控制单元发出执行操作信号，当所述数据分析单元仅出现对齐信号一或对齐信号二任一一种信号时，所述数据分析单元判定半导体掩模版以及其表面上放置的半导体并未对齐，所述数据分析单元判定需对半导体调整，并将调整半导体信号发送至控制单元；所述控制单元用于执行数据分析单元发出的信号。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡灿晶微电子科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市滨湖区五湖大道11号蠡湖科创中心B楼1328、1330；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。