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龙图腾网恭喜珠海市申科谱工业科技有限公司申请的专利双向运动机构、取料组件及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222592561U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421368894.5，技术领域涉及：B65G35/00；该实用新型双向运动机构、取料组件及半导体加工设备是由王伟;宋斌杰;李峰;粟勇;杨俊辉;钟函君;郎浩设计研发完成，并于2024-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本双向运动机构、取料组件及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种双向运动机构、取料组件及半导体加工设备，包括第一直线移载模组和第二直线移载模组。第一直线移载模组包括第一直线电机和第一电机滑块，第一直线电机的长度沿第一方向延伸，第一直线电机的顶部设置有第一装配连接部，第一直线电机的底面设置有第一滑轨和第一磁轨，第一电机滑块安装在第一滑轨上且与第一磁轨耦合。第二直线移载模组包括第二直线电机和第二电机滑块，第二直线电机安装在第一电机滑块上，第二直线电机的底面设置有第二滑轨和第二磁轨，第二电机滑块安装在第二滑轨上且与第二磁轨耦合，第二电机滑块上设置有第二装配连接部。本实用新型能够简化结构，提高移动灵敏度，从而提高工作效率。

本实用新型双向运动机构、取料组件及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种双向运动机构，其特征在于，包括：第一直线移载模组（100），包括第一直线电机（110）和第一电机滑块，所述第一直线电机（110）的长度沿第一方向延伸，所述第一直线电机（110）的顶部设置有第一装配连接部（111），所述第一直线电机（110）的底面设置有第一滑轨（112）和第一磁轨（113），所述第一电机滑块安装在所述第一滑轨（112）上且与所述第一磁轨（113）耦合；第二直线移载模组（200），包括第二直线电机（210）和第二电机滑块（220），所述第二直线电机（210）安装在所述第一电机滑块上，且所述第二直线电机（210）的长度沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向在水平面内相互垂直，所述第二直线电机（210）的底面设置有第二滑轨（211）和第二磁轨（212），所述第二电机滑块（220）安装在所述第二滑轨（211）上且与所述第二磁轨（212）耦合，所述第二电机滑块（220）上设置有第二装配连接部。

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