恭喜株式会社国际电气村田等获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社国际电气申请的专利衬底处理装置及方法、半导体器件的制造方法以及加热部获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109616434B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811535202.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置及方法、半导体器件的制造方法以及加热部是由村田等;和田优一;八幡橘;吉田秀成;西堂周平设计研发完成，并于2016-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置及方法、半导体器件的制造方法以及加热部在说明书摘要公布了：一种衬底处理装置，其能够缩短处理炉内的温度稳定时间。该衬底处理装置具有：保持多张衬底的衬底保持件；设在衬底保持件的下方的隔热部；收纳衬底保持件并处理衬底的处理室；设在处理室的周围并对处理室内从侧部加热的第1加热部；处于处理室内并设在衬底保持件与隔热部之间的第2加热部，第2加热部具有：大致环状的发热部；和从发热部向下方延伸的下垂部，发热部收在直径比衬底小的环状区域内。
本发明授权衬底处理装置及方法、半导体器件的制造方法以及加热部在权利要求书中公布了：1.一种加热部，设置于衬底处理装置内的衬底保持件与隔热部之间，其特征在于，具有：大致心脏线形的发热部；和从所述发热部向下方延伸的下垂部，所述发热部收在直径比衬底小的环状区域内，所述下垂部构成为比所述隔热部的长度长，具有从对所述衬底进行处理的处理室内向外贯穿所述处理室的盖体的保护部件，并且所述下垂部的贯穿部能够被密封部件密封，所述环状区域为所述衬底的直径的15以上35以下，不对所述衬底保持件的最下层的衬底的中心区域进行加热而对与中心区域相比位于外方的区域进行加热。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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