恭喜常州臻晶半导体有限公司张庆云获国家专利权
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龙图腾网恭喜常州臻晶半导体有限公司申请的专利碳化硅晶圆载台检测装置及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119290742B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411806531.X，技术领域涉及：G01N19/04；该发明授权碳化硅晶圆载台检测装置及其检测方法是由张庆云;饶佳鹏;杨加海;郑红军;陆敏设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅晶圆载台检测装置及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明属于检测技术领域，尤其涉及碳化硅晶圆载台检测装置及其检测方法；本发明提供了一种碳化硅晶圆载台检测装置，包括：承载台，其底壁开设有若干吸附孔；至少两个检测组件，所述检测组件滑动设置在所述承载台内底壁的环槽内，且位于晶圆圆周边缘处；喷淋组件，其设置在承载台外壁，且一个喷淋组件对应一个检测组件；其中，晶圆底壁与承载台内底壁抵接后，喷淋组件向检测组件外壁喷水，以检测晶圆是否被承载台吸附稳定；若晶圆被吸附不稳定，一个检测组件在径向滑动时自上向下挤压晶圆外壁，其他检测组件在径向滑动时自下向上顶推晶圆远离承载台；通过检测组件的设置，检测晶圆被负压吸附的稳定性。
本发明授权碳化硅晶圆载台检测装置及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶圆载台检测装置，其特征在于，包括：承载台（1），其底壁开设有若干吸附孔（10）；至少两个检测组件（2），所述检测组件（2）滑动设置在所述承载台（1）内底壁的环槽内，且位于晶圆圆周边缘处；喷淋组件（3），其设置在承载台（1）外壁，且一个喷淋组件（3）对应一个检测组件（2）；其中，晶圆底壁与承载台（1）内底壁抵接后，喷淋组件（3）向检测组件（2）外壁喷水，若晶圆被吸附不稳定，一个检测组件（2）在径向滑动时自上向下挤压晶圆外壁，其他检测组件（2）在径向滑动时自下向上顶推晶圆，以使晶圆在承载台（1）上移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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