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恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王之一获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于动态焦点加权融合的重扫描共焦测量系统及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119394993B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510007972.1,技术领域涉及:G01N21/64;该发明授权基于动态焦点加权融合的重扫描共焦测量系统及测量方法是由王之一;冯晓鹏;王建立;刘昌华;贾建禄设计研发完成,并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

基于动态焦点加权融合的重扫描共焦测量系统及测量方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光学检测领域,尤其涉及一种基于动态焦点加权融合的重扫描共焦测量系统及测量方法,激光光源发射的激发光依次经二相色镜的反射、第一扫描摆镜的摆扫、第一扫描透镜的聚焦、像差校正透镜的像差校正、物镜的聚焦后入射至待测样品,待测样品激发出的发射光返回至二相色镜,经二相色镜的透射、第二扫描透镜的聚焦通过针孔,再经第三扫描透镜的准直、第二扫描摆镜的摆扫及三个分束器的分束,分别入射至两个焦前探测器和两个焦后探测器,共获得四幅离焦图像。本发明通过引入重扫描单元与图像融合方法,使得图像可以直接投射到四个不同焦平面的相机上,增强了图像的细节和清晰度,减少模糊和失焦区域,进而降低噪声影响,提升图像的整体质量。

本发明授权基于动态焦点加权融合的重扫描共焦测量系统及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种基于动态焦点加权融合的重扫描共焦测量系统,其特征在于,包括激光光源、二相色镜、第一扫描摆镜、第一扫描透镜、像差校正透镜、物镜、压电陶瓷式物镜驱动器、平台、第二扫描透镜、针孔、第三扫描透镜、第二扫描摆镜、第一分光器、第二分束器、第三分束器、第一焦前探测器、第二焦前探测器、第一焦后探测器和第二焦后探测器;其中,待测样品放置在平台上,物镜放置在压电陶瓷式物镜驱动器上,通过压电陶瓷式物镜驱动器驱动物镜进行轴向移动,实现待测样品不同切面的测量;二相色镜设置在激光光源的出射方向上,第一扫描透镜、像差校正透镜、物镜依次设置在第一扫描摆镜与待测样品之间,第一扫描摆镜设置在二相色镜的反射方向上;第二扫描透镜、针孔、第三扫描透镜、第二扫描摆镜依次设置在二相色镜的透射方向上,第一分光器设置在第二扫描摆镜的反射方向上,第二分光器与第三分光器分别设置在第一分光器的反射方向和透射方向上,第一焦前探测器与第二焦前探测器设置在第二分光器的反射方向和透射方向上,第一焦后探测器和第二焦后探测器设置在第三分光器的反射方向和透射方向上;第一焦前探测器包括第四扫描透镜和第一相机,第二焦前探测器包括第五扫描透镜和第二相机,第一焦后探测器包括第六扫描透镜和第三相机,第二焦后探测器包括第七扫描透镜和第四相机;第四扫描透镜至第七扫描透镜中的任意一个与第一扫描透镜、第二扫描透镜、第三扫描透镜、第一扫描摆镜、第二扫描摆镜满足如下关系: 其中,表示基于动态焦点加权融合的重扫描共焦测量系统的‌相对机械放大倍数,表示该重扫描共焦测量系统的机械放大倍数,表示该重扫描共焦测量系统的光学放大倍数,表示第一扫描透镜的焦距,表示第二扫描透镜的焦距,表示第三扫描透镜的焦距,表示第四扫描透镜至第七扫描透镜中任意一个的焦距,表示第二扫描摆镜的振幅,表示第一扫描摆镜的振幅。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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