恭喜北京航空航天大学冯丽爽获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京航空航天大学申请的专利一种传感用超短薄膜铌酸锂相位调制器及其工作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119355988B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411932346.5,技术领域涉及:G02F1/03;该发明授权一种传感用超短薄膜铌酸锂相位调制器及其工作方法是由冯丽爽;周震;裴文轩;冯迪;焦洪臣;李鑫宇;陆洋设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传感用超短薄膜铌酸锂相位调制器及其工作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种传感用超短薄膜铌酸锂相位调制器及其工作方法,属于集成光学器件领域,包括沿光路传播的顺序依次集成的输入阶梯型拉锥波导、第一亚波长光栅反射镜、法布里珀罗谐振腔、第二亚波长光栅反射镜和输出阶梯型拉锥波导;从而实现了外界输入的光在第一亚波长光栅反射镜和第二亚波长光栅反射镜之间的法布里珀罗谐振腔内部往返传播接受调制。本发明采用上述传感用超短薄膜铌酸锂相位调制器及其工作方法,利用光栅反射镜使调制信号光在法布里珀罗谐振腔内发生谐振,起到折叠光路的作用,使得光在调制区内传播的有效光程远大于器件的实际长度,进而在保证调制效率几乎不变的同时,大幅度缩小器件整体的尺寸,同时降低调制半波电压。
本发明授权一种传感用超短薄膜铌酸锂相位调制器及其工作方法在权利要求书中公布了:1.一种传感用超短薄膜铌酸锂相位调制器,可同时应用于O波段和C波段,其特征在于:包括沿光路传播的顺序依次集成的输入阶梯型拉锥波导、第一亚波长光栅反射镜、法布里珀罗谐振腔、第二亚波长光栅反射镜和输出阶梯型拉锥波导,输入阶梯型拉锥波导、第一亚波长光栅反射镜、法布里珀罗谐振腔、第二亚波长光栅反射镜和输出阶梯型拉锥波导之间经输入输出薄膜铌酸锂脊波导实现光互连,且第一亚波长光栅反射镜、法布里珀罗谐振腔和第二亚波长光栅反射镜的表面设置有金属电极;从而实现了外界输入的光在第一亚波长光栅反射镜和第二亚波长光栅反射镜之间的法布里珀罗谐振腔内部往返传播接受调制;输入阶梯型拉锥波导、第一亚波长光栅反射镜、法布里珀罗谐振腔、第二亚波长光栅反射镜和输出阶梯型拉锥波导均由功能型薄膜铌酸锂脊波导制成;功能型薄膜铌酸锂脊波导和输入输出薄膜铌酸锂脊波导均包括由上至下依次设置的二氧化硅上包层、薄膜铌酸锂脊波导芯层、二氧化硅下包层和硅基底层;法布里珀罗谐振腔的薄膜铌酸锂脊波导芯层和二氧化硅上包层之间生长有二氧化硅中间层,二氧化硅中间层上覆盖有金属电极,金属电极对称分置于薄膜铌酸锂脊波导芯层的两侧;第一亚波长光栅反射镜和第二亚波长光栅反射镜的中心处波导宽度均小于输入输出端的波导宽度,且第一亚波长光栅反射镜和第二亚波长光栅反射镜的中心处均经两段锥波导与输入输出端的波导连接;第一亚波长光栅反射镜和第二亚波长光栅反射镜均由按照长光栅、短光栅周期交替排列的布拉格光栅构成,且布拉格光栅的周期总数大于100;第一亚波长光栅反射镜和第二亚波长光栅反射镜对O波段和C波段的光反射率均大于99%;输入阶梯型拉锥波导和输出阶梯型拉锥波导均与尾纤耦合;输入阶梯型拉锥波导和输出阶梯型拉锥波导均对功能型薄膜铌酸锂脊波导的rib层进行三次高度依次下降的拉锥,并对功能型薄膜铌酸锂脊波导的slab层进行一次高度相同的拉锥,且每次拉锥的最小宽度为200nm。
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