买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜上海概伦电子股份有限公司申请的专利一种用于半导体器件批量测试的源测量单元前置放大装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119199218B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411698356.7，技术领域涉及：G01R1/30；该发明授权一种用于半导体器件批量测试的源测量单元前置放大装置是由赵建颖;李淼设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体器件批量测试的源测量单元前置放大装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于半导体器件批量测试的源测量单元前置放大装置，包括：SMU源测量单元、矩阵开关和Pre‑AMP前置放大器；Pre‑AMP前置放大器，与多个DUT待测器件连接，用于将测试得到的fA级别或pA级别的电流进行放大，转换得到nA及nA以上级别电流，DUT待测器件包括pA级及低至fA级别电流；矩阵开关，与Pre‑AMP前置放大器连接，用于控制对1至n+1个DUT待测器件的任意切换；SMU源测量单元，与矩阵开关连接，用于在半导体测试时通过施加不同的电压并测量电流响应，测量得到nA及nA以上级别电流，降低对源表和矩阵的要求，即通过此放大器可以测量低至飞安级别电流。

本发明授权一种用于半导体器件批量测试的源测量单元前置放大装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体器件批量测试的源测量单元前置放大装置，其特征在于，包括：SMU源测量单元、矩阵开关和Pre-AMP前置放大器，所述Pre-AMP前置放大器，与多个DUT待测器件连接，用于将测试得到的fA级别或pA级别的电流进行放大，转换得到nA以上级别电流，所述DUT待测器件包括pA级及低至fA级别电流；所述矩阵开关，与所述Pre-AMP前置放大器连接，用于控制对1至n+1个DUT待测器件的任意切换；所述SMU源测量单元，与所述矩阵开关连接，用于在半导体测试时通过施加不同的电压并测量电流响应，测量得到nA以上级别电流；在正常电流测试模式下，多个所述DUT待测器件通过所述矩阵开关与所述SMU源测量单元连接；在更小电流测试模式下，多个所述DUT待测器件通过所述Pre-AMP前置放大器放大后与所述矩阵开关连接至所述SMU源测量单元；其中，所述更小电流测试模式为pA级别及fA级别以下的电流测试，所述正常电流测试模式为pA级别以上的电流测试；所述Pre-AMP前置放大器的内部电路包括若干开关、跨阻放大器U2、放大器U3、隔离电源及若干电阻，所述Pre-AMP前置放大器的INPUT端一路与电阻R10连接所述跨阻放大器U2的输出端，所述跨阻放大器U2的负极输入端连接所述Pre-AMP前置放大器的OUTPUT端，所述跨阻放大器U2的正极输入端与所述放大器U3的负极输入端连接；且所述Pre-AMP前置放大器的INPUT端一路与开关K1连接至所述Pre-AMP前置放大器的OUTPUT端；所述Pre-AMP前置放大器的INPUT端一路与开关K2、电阻R9及放大器U3的输出端连接，所述放大器U3的正极输入端与所述Pre-AMP前置放大器的SENSE端连接开关K3至所述Pre-AMP前置放大器的OUTPUT端，所述放大器U3的负极输入端与所述放大器U3的输出端连接，且所述Pre-AMP前置放大器的SENSE端与隔离电源连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海概伦电子股份有限公司，其通讯地址为：201311 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。