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龙图腾网恭喜沈阳工业大学申请的专利一种光栅位移超精密测量的误差修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118857114B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411021801.6，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种光栅位移超精密测量的误差修正方法是由常丽;李志鹏;蒋辉;修国一设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光栅位移超精密测量的误差修正方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光栅位移超精密测量的误差修正方法，方法如下：分析环境因素包括温湿度、振动及压强对光栅传感器位移测量的具体影响效果；采集光栅传感器信号，并利用传感器采集光栅传感器测量时周围环境中的温湿度、振动及压强信号，同时构建初始数据集，并对初始数据集进行预处理；构建TCN网络结构，并采用三种评价指标进行TCN参数选取，获取最优参数后，基于获取的参数对TCN进行训练，通过更换激活函数构成改进后的TCN网络并进行训练；构建验证数据集，将验证数据集中的光栅信号以及环境信号共同输入至TCN模型中，基于训练好的TCN模型输出环境误差修正后的位移值；本发明可以实现光栅信号环境误差修正，为实现高精度的光栅纳米测量有一定的作用。

本发明授权一种光栅位移超精密测量的误差修正方法在权利要求书中公布了：1.一种光栅位移超精密测量的误差修正方法，其特征在于，包括如下步骤：S10.分析所处环境的环境因素对光栅传感器位移测量的影响，环境因素包括温度、振动、湿度和压强；在步骤S10中，环境因素包括如下步骤：S11.分析温度对光栅传感器以及对位移测量结果的影响关系；表达式如下： 其中，t0为光栅初始工作温度；当工作温度变为t时，光栅传感器的栅距d和测量长度L的变化量为Δd与ΔL；S12.分析振动对光栅传感器以及对位移测量结果的影响关系；表达式为：当0tT4时： 当2i-1T4t≤2i+1T4时： 其中，i＝1,2,3…，T为光栅信号的周期，fexc为振动激励的频率，f是由光栅传感器输出信号基频，sinc是归一化基数正弦函数，δ为振幅因子，若信号在0到1之间变化则δ与测量信号幅值直接相关，S0表示初始相位为0时的光栅传感器输出信号；S13.分析湿度与压强对光栅传感器测量过程及对位移测量结果的影响关系；湿度与压强主要通过引起空气折射率的变化进而影响光栅传感器的位移测量结果，描述空气折射率变化的Edlén公式的表达式为： n-1x＝n-1s[1+0.5327x-0.0004]； ntpf-ntp＝-f3.8020-0.0384σ2×10-10；其中，n-1s代表的是干燥空气下的折射率，σ为真空中光波长的倒数用以表示波数；n-1x为考虑CO2浓度的空气折射率，x表示CO2浓度大小；n-1tp表示温度T与压强P影响下的空气折射率；ntpf表示受温湿度及压强影响的空气折射率；设真空下光源的波长为λ0，空气中光源波长为λ，则空气折射率n与其的关系可表示为：n＝λ0λ光源波长发生变化将影响光栅衍射效果，当入射角为α，衍射角为β时，光栅衍射方程为：dsinα+sinβ＝mλ式中：d表示光栅栅距，m表示衍射级数，λ为光源波长；S20.采集光栅传感器的信号，并利用传感器采集光栅传感器测量时周围环境中的温湿度、振动及压强信号，同时构建初始数据集，并对初始数据集进行预处理；S30.构建TCN网络结构，并采用评价指标进行TCN参数选取，获取最优参数后，基于获取的参数对TCN进行训练，通过更换激活函数构成改进后的TCN网络并进行训练；S40.构建验证数据集，将验证数据集中的光栅信号以及环境信号共同输入至TCN模型中，基于训练好的TCN模型输出环境误差修正后的位移值。

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