恭喜朗姆研究公司达蒙·蒂龙·格内蒂获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利需要转动对准的边缘环的自动化转移获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114051652B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080041484.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权需要转动对准的边缘环的自动化转移是由达蒙·蒂龙·格内蒂;罗伊·斯科特·鲍威尔;达瑞尔·安吉洛;韩慧玲设计研发完成，并于2020-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本需要转动对准的边缘环的自动化转移在说明书摘要公布了：用于输送消耗性部件至衬底处理系统的环存储站包含外壳，外壳包含基板与设置于基板上方的旋转板。末端执行器开口被设置于外壳的第一侧处而服务窗开口被设置于外壳的第二侧处。成组的指支撑结构被连接至旋转板。每一指支撑结构包含支撑柱和设置于其上的支撑指。该成组的柱中的至少两个柱包含具有转位销的支撑指，以在消耗件被放置至环存储站中时径向对准消耗件。在一配置中，可设计消耗件以匹配旋转角度接合，以确保捕捉环存储站与处理模块之间的角度对准。
本发明授权需要转动对准的边缘环的自动化转移在权利要求书中公布了：1.一种用于输送在衬底处理系统中使用的消耗件的环存储站，其包含：外壳，其包含：基板；旋转板，其设置在所述基板上方并且被配置成沿着水平面围绕中央枢轴销旋转，所述中央枢轴销被设置在所述基板的中心上且延伸通过所述旋转板的中心；末端执行器访问开口，其设置在所述外壳的第一侧处；服务窗开口，其设置在所述外壳的第二侧上；成组的指支撑结构，其包含设置在对应的支撑柱上的支撑指，所述成组的指支撑结构被连接至所述外壳内的所述旋转板。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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